Efter nederlaget af kampagnen september 1939, da polske soldater havde forsøgt at afvise den tyske invasion, byen Oswiecim og de omkringliggende områder blev inkorporeret i den tredje Rige. Samtidig dens navn blev ændret til Auschwitz. Ved udgangen af 1939 på SS og politi hovedkvarter i Wroclaw (Braslau), allerede var blevet foreslået idéen om at oprette en koncentrationslejr.
Den officielle begrundelse for denne plan var baseret på overbelægning af de eksisterende fængsler i Schlesien, og om nødvendigheden af at foretage yderligere bølger af masse anholdelse blandt de polske indbyggere både i Schlesien og resten af tysk-besatte Polen.
Adskillige særlige udvalg blev indkaldt, hvis opgave det var at overveje den mest gunstige placering for sådan en lejr. Det ultimative valg faldt på de øde før krigen polske kaserne i Oswiecim. Beliggende i nogen afstand fra den opbygget område af byen, kunne de ganske nemt udvides og isoleret fra omverdenen.
En anden faktor ikke uden betydning var den bekvemme position Oswiecim - en import og jernbaneknudepunkt -. Inden for de eksisterende kommunikationsnet
For at gå videre med planerne om at fundet en lejr blev givet i april 1940 og Rudolf Hoss var udnævnt sin første kommandant. Den 14. juni 1940 Gestapo afsendt de første politiske fanger til KL Auschwitz - 728 polakker fra Tarnow. Oprindeligt lejren bestod 20 bygninger - 14 i stueplan og 6 med en øvre etage.
I perioden 1941-1942 blev der tilføjet en ekstra historie til alle stueetagen bygninger og 8 nye blokke blev bygget, ved hjælp fangerne som arbejdsstyrken. Samlet lejren nu indeholdt 28 et-etagers bygninger (ekskl køkkener, lagerbygninger osv) Det gennemsnitlige antal fanger svinget mellem 13-16,000 og nåede på et tidspunkt (i løbet af 1942) en rekord i alt 20.000 personer. De blev indkvarteret i blokkene, hvor selv cellares og lofts blev anvendt til dette formål.
Da antallet af indsatte steget, det område, som lejren også voksede, indtil det blev omdannet til en gigantisk og rædselsvækkende fabrik for døden. Den skrummel i Oswiecim - KL Auschwitz I - blev den forælder eller "Stammlager" til en hel generation af nye lejre. I 1941 opførelsen af en anden lejr, senere kaldet Auschwitz II-Birkenau, blev påbegyndt i landsbyen Brzezinka 3 kilometer væk, og i 1942 lejren i Monowice nær Oswiecim-KL Auschwitz III-blev etableret på det område af den tyske kemisk fabrik IG-Farbenindustrie.
Endvidere i årene 1942-1944, omkring 40 mindre g